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無塵和潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是電子生產(chǎn)工藝的需要,凈化車間是確保電子產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,各行各業(yè)對凈化無塵室生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如:大規(guī)模和規(guī)模集成電路的發(fā)展很快,在1980年時(shí)其集成度只有64kB,而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)只有4級(jí)和5級(jí),而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)的要求提高到1級(jí)和2級(jí)(0.1μm).不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的,因此,確定潔凈室凈化車間的空氣潔凈度等級(jí)時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積,在凈化車間以局部高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。
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